Магнетронное распыление широкозонного триоксида молибдена MoO3
Muzafarova S.A., Tashlanova D.M. · Материалы международной научно-практической конференции «Вклад женщин-учёных Узбекистана в развитие страны» (Нукус, 9–10 октября 2026 г.) · 2026
Magnetron changlatish texnologiyasining muhim parametrlaridan biri jarayonning boshqariluvchanligini ta‘minlashdir. O‘tqazish tezligi — nishon sirtidan uchib chiqqan atomlarning taglikka yetib borishi natijasida plyonka qalinligining bir daqiqada ortish tezligi. Umuman olganda, o‘tqazish tezligi 50 dan 500 Å/min gacha o‘zgaradi. Yuqori chastotali va o‘zgarmas tok rejimlarida ion toklarining o‘rtacha qiymatlari bir-biridan kam farq qiladi; plazma elektron ionlanish natijasida hosil bo‘ladi, elektron ionlanish esa radiochastotali nurlanish yordamida amalga oshiriladi. Taglik harorati odatda eng yaxshi tekstura olinadigan qilib optimallashtiriladi. Dastlabki changlatish jarayonida molibden oksidini hosil qilish, xususan, MoO3 birikmasini sozlash uchun kameraga kislorod beriladi. Hosil bo‘lgan molibden oksidi plyonkalari turli maqsadlar uchun qiziqarli materiallar hisoblanadi.