DESIGN AND OPERATING PRINCIPLE OF A SEMICONDUCTOR SENSOR FOR METHANE AND NATURAL GAS
Khudoyberdiyeva Sabina Murodjonovna, Eshobilova Mavjuda Ergashboyevna · Research Focus International Scientific Journal · 2025
Ushbu maqolada metan (CH₄) va tabiiy gazni aniqlash uchun maxsus ishlab chiqilgan yarimo‘tkazgichli gaz sensorining tuzilishi va ishlash prinsiplari keltirilgan. Sensor qalay oksidi (SnO₂), rux oksidi (ZnO) va volfram oksidi (WO₃) kabi metall oksidli yarimo‘tkazgichlarda o‘tkazuvchanlik modulyatsiyasi prinsipi asosida ishlaydi; ularning elektr qarshiligi sensor sirtida gaz adsorbsiyasiga javoban o‘zgaradi. Sezgir element o‘rnatilgan mikroisitgichga ega planar tuzilmaga integratsiya qilingan bo‘lib, bu sezuvchanlik va selektivlikni optimallashtirish maqsadida haroratni boshqarish imkonini beradi. Metan molekulalari xemosorbsiyalangan kislorod turlari bilan oksidlanish-qaytarilish reaksiyalari orqali aniqlanadi, bu esa qarshilikning o‘lchanadigan o‘zgarishlariga olib keladi. Konstruksiya real vaqt rejimida monitoring qilish imkonini beruvchi signalni shakllantirish sxemalari va ma‘lumot yig‘ish modullarini o‘z ichiga oladi. Sensor metanning past konsentratsiyalariga yuqori sezuvchanlikni, tez javob berish va tiklanish vaqtini hamda o‘zgaruvchan atrof-muhit sharoitlarida barqaror ishlashni namoyish etadi.