research-focus Research Focus International Scientific Journal Research Focus 2181-3833 Ilm-fan va innovatsiyalar akademiyasi 10.66073/researchfocus.v2i9.445 REL-A-010711 ТЕРМОАНЕМОМЕТРИЧЕСКИЙ ДАТЧИК НА ОСНОВЕ SI<NI> THERMOANEMOMETRIC SENSOR BASED ON SI SI ASOSIDAGI TERMOANEMOMETRIK DATCHIK Маннанов М.И. Научно-исследовательский институт физики полупроводников и микроэлектроники при Национальном университете Узбекистана (Ташкент), Узбекистан 05 10 2023 2023 2 9 40 44 https://creativecommons.org/licenses/by/4.0 Это произведение доступно по лицензии Creative Commons «Attribution» («Атрибуция») 4.0 Всемирная.

Приводится описания датчики скорости потока сплошных сред  на основе кремния с нанокластерами атомов никеля обладающего высокой чувствительностью и стабильностью выходных параметров. Рассматривается режим диффузии никеля в кремний для создания датчика скорости потока сплошных сред. Исследованы электрофизические параметры датчика.

A description is given of flow velocity sensors for continuous media based on silicon with nanoclusters of nickel atoms, which possess high sensitivity and stability of output parameters. The mode of nickel diffusion into silicon for creating a flow velocity sensor of continuous media is considered. The electrophysical parameters of the sensor have been investigated.

Yuqori sezuvchanlik va chiqish parametrlari barqarorligiga ega bo‘lgan, nikel atomlari nanoklasterlari mavjud kremniy asosidagi uzluksiz muhitlar oqimi tezligi datchiklarining tavsifi keltiriladi. Uzluksiz muhitlar oqimi tezligi datchigini yaratish uchun nikelning kremniyga diffuziya rejimi ko‘rib chiqiladi. Datchikning elektrofizik parametrlari tadqiq qilingan.

 датчик поток легирование кремний никел температура диффузия чувствительность удельное сопротивление sensor flow doping silicon nickel temperature diffusion sensitivity resistivity datchik oqim legirlash kremniy nikel harorat diffuziya sezgirlik solishtirma qarshilik Бахадирханов М.К.,Илиев Х.М.,Мавлонов Г.Х.,Мамаджанов Х., Зикрил-лаев Н.,АлипбоевТ., Бабанов Д «Особенности электри-ческих и фотоэлектрических свойств кремния с многозарядными кластерами примесных атомов» /международная конференция. Бишкек, 2008.-с.34-35. Маннанов М.И. Электрофизические свойства кремния, легированного примесью Никелья методом диффузии // «Приборы» Международное научно-техническое общество приборостроителей и метрологов. (Россия) №11 (269), 2022, с.37-43. [IF: 0,19] King L.V. On the convection of heat from small cylinders in a stream fluid determination of the convection constants of small platinum wires with application to the hot-wire anemometry // Phil. Trans. Roy. Soc. London, A.214.-1914.-P.393-432. 10.1098/rsta.1914.0023 Морозов-Ростовский Г.П. Термоанемометрические пленочные преобразователи // Измерительная техника. – 1968 - №5-С.99. 3.Ференец В.А.Полупроводниковые струйные термоанемометры.М.:Энергия,1972,113с. Корякова О.Н., Кузьмин В.А. Термоанемометры постоянной температуры: "Измерители расхода жидкости, газа, пара", М., 1973 г., с.56-59. habr.com›ru/company/efo/blog/280031/ Болтакс Б.И.Диффузия в полупроводниках. М.: Наука,1961.- с.421 М.К.Бахадирханов.,К.С.Аюпов.,Э.У.Арзукулов.,С.Н.Сражев,Т.У.Тошбоев. Термические свойство кремния с кластерами атомов никеля// Физика издание томского госуниверситета. 2008.-№11,3